参考无锡华虹12寸，当前40还不稳，55据说稳了。一期投资200亿，当然现在还没花完。目前估计一半进去了吧。
这玩意属于制造工艺，不是什么软件，买了设备拉通就可以了。设备在里面占比不高。大头是调工艺过程的生产成本。
以下是我工艺的兄弟给我的科普，我本人不是搞工艺的，有兴趣的就看看，打个比方，不要太在意里面数字。
比如一道做M1和M2层之间孔的工艺，做完后要磨平。设备厂给你的参考值是磨3分钟（打比方）。但不好意思asml的是在欧洲试验出来的，你这边你前道工艺做出的金属是20A厚(等效2 nm,我随便说的.)，你磨3分钟就磨穿了。那你怎么办？你得少磨。问题这个金属厚度，你做出来是一个分布，不是说每次你都是20A.有可能你这次30A,下次32A,再下次12A.
你怎么得到这分布？做呗，几百上千片圆片做试验啊。最后你得出，这个磨这个孔的工序要在110s～80s之间。
这只是一道工序，一个40nm,我用过的有51个层次，估计有千道工艺吧。每道工艺花100张圆片，现在，一张12寸片算3万，就圆片就要花掉30亿以上，还没算这过程的水电，其他化学材料，药剂，耗材，人工。
制造业的工艺不是做器件，器件你可以靠仿真，工艺你得上机去试。
这里就可以看出传奇和普通人的区别了，我听过的未经证实的传说，当年smic创始人还没干smic，华润把他找来帮忙调那条.5线，当时的线虽然已经拉通，但良率很差，而且老发疯，时不时出光头。也找了很多专家，当时其他人说估计还要花几万张圆片，它的圆片便宜，算1000元（不到，近似），这样算也得要花上亿成本。然后，jason带了一波人来了，看了下，然后说估计1000张圆片差不多，最后据说100张试验，100张调，最后100张验证。这条线至今依然稳定的为华润创造着利润。
说个题外话，为什么国内建厂喜欢买二手设备，见我前面说明，原厂淘汰的二手设备一般保存着前面的工艺菜单，这样调就不是从零开始。
